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石英摆式加速度计
石英摆式加速度计

石英摆式加速度计

体积≤12x12x4mm³

带宽>800Hz

量程±30g

摆片整体外径、厚度匹配加速度计封装结构,厚度常规为0.02~0.05mm,整体尺寸公差≤±0.01mm

平面度误差≤3μm,整体平整度一致,无翘曲、变形,保证安装贴合度与受力均匀性

用于惯性导航、航空航天、国防武器、石油钻井、工业监测等场景

产品特点

  • 高分辨率
    高分辨率
  • 宽动态范围
    宽动态范围

产品尺寸

产品尺寸

电性能参数

参数分类
Parameter Categories
具体参数项目
Detailed parameters
技术指标
Technical Specifications
测试条件/补充说明
Test Conditions
绝缘阻抗(直流)
Insulation Resistance (DC)
常温标准绝缘阻抗
Standard insulation resistance at room temperature
≥1000MΩ500V DC,电极与基体、壳体之间
500V DC, between electrode and substrate/housing
高温高湿绝缘阻抗
Insulation resistance at high temperature and high humidity
≥500MΩ40℃、95%RH环境,长期静置
40℃, 95% RH environment, long-term static placement
电极导通阻抗
Electrode Conductive Resistance
单电极导通阻抗
Single electrode conductive resistance
≤5Ω镀金电极层,常温工况
Gold-plated electrode layer, room temperature condition
同片电极阻抗差值
Resistance difference between electrodes on the same wafer
≤1Ω保证两极导电一致性
Ensures consistent conductivity of both poles
谐振等效串联阻抗(R1)
Series equivalent resistance at resonance (R1)
≤60Ω摆片工作频点,低损耗特性
At the working frequency point of the pendulum disc, low-loss characteristics
动态交流阻抗
Dynamic AC Impedance
极板寄生静态电容
Static parasitic capacitance of the pole plate
≤3pF偏差范围±0.2pF
Tolerance range ±0.2 pF
阻抗温度稳定性
Impedance Temperature Stability
阻抗频率特性
Impedance-frequency characteristics
特性平稳、无突变、无谐振峰
Stable characteristics, no abrupt changes, no resonance peaks
整机带宽0~800Hz范围内
Within the overall bandwidth range of 0~800Hz
阻抗温度系数
Impedance temperature coefficient
≤10ppm/℃-40℃~+85℃全温域
Full temperature range: -40℃ ~ +85℃
高低温循环阻抗重复性
Impedance repeatability after high-low temperature cycling
≤5ppm多次温循后无不可逆偏移
No irreversible offset after multiple temperature cycles


*石英摆片作为压电敏感与电容检测核心元件,其阻抗特性直接影响位移检测信噪比、闭环回路稳定性、零位噪声及温漂性能,是加速度计电气匹配的关键参数,所有指标为常温25℃、标准工作工况下额定值。

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