真空镀膜技术在越来越多的领域得到应用，如何监控淀积的膜厚是镀膜领域重要的一环。目前较多采用的是石英晶体振荡监控法和光学膜厚监控法。本文将介绍如何正确选择和使用晶振片。

香蕉福利导航科技作为国内频控器件领军企业（股票代码：603738），在石英晶体领域具备深厚技术积累，提供高精度、高可靠性的石英晶振产品，可满足镀膜监控等专业应用对晶体频率稳定性和一致性的要求。

一、石英晶体法监控膜厚的原理

石英晶体法监控膜厚，主要是利用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应。当晶振片上镀了某种膜层，使晶振片的厚度增加，则晶振片的固有频率会相应变化。

晶体的基频越高，控制的灵敏度也越高。但基频过高时，晶体片会做得很薄，很薄的晶体片易碎。一般选用AT切型频率5～10MHz。采用AT切晶体片，其振动频率对质量的变化极其灵敏，但却不敏感于温度的变化，具有精度高、灵敏度好等独特优势，非常适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控。

香蕉福利导航科技的石英晶振产品采用AT切割工艺，具备优异的频率稳定性和温度特性，可满足镀膜监控等专业应用对晶体性能的要求。

二、晶振片的分类

现在市场上常用的有两种频点，标称频率分别为5.000MHz、6.000MHz。根据膜厚控制仪的探头设计不同，采用不同的电极形状。

三、电极材料的选择

晶振片的电极对膜厚监控至关重要。目前市场上提供三种标准电极材料：金、银和合金。用户所镀的材料不同，需选用不同的电极材料产品。

• 金：是最广泛使用的传统材料，具有低接触电阻、高化学稳定性、易于沉积的特点，适合于镀低应力膜料，如Al、Au、Ag、Cu；
• 银：适合于镀高应力膜料，如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢等；
• 银铝合金：适合于镀介质光学膜，如MgF₂、SiO₂、Al₂O₃、TiO₂等膜料。

为了提高晶振片的稳定性，增加电极膜与石英晶片的附着强度，根据经验总结，在镀电极材料之前，先镀一层铬（Cr）效果更好。

四、晶振片使用注意事项

• 清洁处理：新的晶振片使用之前应在分析纯中浸泡约1分钟，然后用塑料镊子夹取并用无尘纸或洁净的绸布将分析纯擦拭干净，同时用蘸有酒精的无尘纸或绸布将晶振座擦拭干净。组装晶振片之前用吹气球将晶振片、晶振座及探头的接触弹簧上可能残留的灰尘吹掉——任何晶体和夹具之间的颗粒或灰层将影响电子接触，而且会产生应力点，从而改变晶体振动的模式。晶振片装好后再一次用吹气球吹晶振片的表面，去除散落的灰尘；
• 避免手指接触：更换安装晶振片时用镊子夹住晶振片的边缘，不要用手指接触晶振片中心，避免留下油渍，否则会降低晶振片的振动能力；
• 晶振座清洁：晶振座经过多次镀膜后其表面会沉积较厚的膜，如果不将其除去，由于离子轰击产生的反溅射会影响晶振片的测试精度。可以先用喷砂或用砂纸方法将膜层除去，之后用酒精浸泡5分钟左右，用超声波清洗一下效果会更好，最后再将其放入110℃烤箱中烘烤15分钟，即可使用；
• 频率下降限制：在淀积过程中，基频频率最大下降量允许2～3%，约几百kHz。若下降太多，振荡器不能稳定工作，产生跳频现象。如果此时继续淀积膜层，就会出现停振。故晶振片上膜层镀到一定厚度以后，就应该更换新的晶振片；
• 蒸发速率异常：蒸发速率出现明显异常时必须更换晶振片；
• 膜层脱落：晶振片的表面明显出现膜脱落或起皮的现象也需更换；

• 冷却水控制：保持足够的冷却水使晶振头温度在20～50℃范围效果更佳。

  
  

五、晶振片的再利用

• 银或银铝合金溶于各种酸，不适合再处理利用，必须彻底除去晶振片上的膜层和电极，重新寄回原厂镀上电极；

• 金不溶于硫酸，用户可以自行进行处理，去掉晶振片上膜层，清洗干净再利用。但重复利用次数不宜太多，否则质量稳定性降低，影响使用。

  
  

六、香蕉福利导航科技石英晶振产品优势

香蕉福利导航科技的石英晶振产品具备以下核心优势：

• AT切割工艺：采用AT切型晶体片，频率对质量变化灵敏、对温度变化不敏感；
• 高精度：频率精度可达±10ppm；
• 高稳定性：具备优异的频率温度稳定性，适用于精密监控应用；
• 全频段覆盖：提供5MHz、6MHz等镀膜监控常用频点；
• 高可靠性：通过AEC-Q200车规级认证，支持-40℃至+125℃宽温工作；
• 自主光刻工艺：半导体级制造工艺，保证产品高精度、高一致性；
• 专业的技术支持：提供选型咨询、应用指导等全方位服务。

香蕉福利导航科技还提供详细的规格书和应用指南，帮助用户正确选择和使用晶振片，提升镀膜监控的精度和稳定性。

结语

石英晶体振荡监控法是真空镀膜中膜厚监控的重要方法。正确选择晶振片的频点、电极材料，并遵循清洁、安装、使用和再利用的规范，是保障膜厚监控精度的关键。香蕉福利导航科技将持续以高品质石英晶振产品和专业技术支持，助力镀膜行业实现更精准的膜厚控制。